洁净室是控制污染的基础，在FED-STD-2中，它被定义为具备空气过滤等装置的房间，通过控制空气悬浮微粒浓度达到适当的洁净度。要获得良好的洁净效果，需采取合理的空调净化措施，并要求工艺、建筑等专业配合。不仅需要合理的设计和规范的施工安装，还需要正确的使用和科学的维护管理。

01/送风洁净度

净化系统末级过滤器一般采用高效过滤器或亚高效过滤器。按我国标准规定高效过滤器效率分四档:A 类为≥99.9%，B 类为≥99.9%，C 类为≥99.999%，D 类为(对≥0.1μ m 粒子)≥99.999%(亦称超高效过滤器);亚高效过滤器为(对≥0.5μm 粒子)95~99.9%。

从洁净度要求考虑，以低级别洁净室选用低性能过滤器、高级别洁净室选用高性能过滤器为原则。一般说来:100 万级可选用高中效过滤器；低于 1 万级可选用亚高效或 A 类高效过滤器；1 万~100 级选用 B 类过滤器；100~1 级选用 C 类过滤器。这里每个洁净度级别都有两类过滤器可供选择。
        液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上。负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态，与明装型式一样即使渗漏也不会漏到室内。

02/气流组织

洁净室的气流组织与一般空调房间有所不同，它要求将最干净的空气首先送到操作部位，它的作用在于限制和减少对加工物的污染。为此，在设计气流组织时应考虑这些原则:   尽量减少涡流，避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀，且其风速要满足工艺和卫生要求，当气流向   回风口流动时要使空气中的灰尘能有效带走。根据不同的洁净度要求，选择不同的送、回风方式。
不同的气流组织，各有其特点和范围：

（1）垂直单向流：均可获得均匀向下气流，便于工艺设备布置，自净能力强，可简化人身净  化设施等共同设施等共同优点外，四种送风方式还有其各自优缺点:满布高效过滤器具有阻力低、更换过滤器周期长等优点，但顶棚结构复杂，造价高；侧布高效过滤器顶送、全孔板   顶送与满布高效过滤器顶送的优缺点相反，其中全孔板顶送在系统非连续运行时，孔板内表面易积尘，维护不好，对洁净度有些影响；密集散流器顶送，因需要一段混和层，所以只 适用于 4m 以上高大洁净室，其特点与全孔板顶送相仿；对于相对两侧格栅的板和相对两侧墙下部均匀布置回风口的回风方式仅适用两侧净间距小于 6m 的洁净室；单侧墙下部布回风口仅适用对墙间距较小(如≤<2~3m)的洁净室。

（2）水平单向流：在第一工作区达到 100 级洁净度，当空气流向另一侧的过程中含尘浓度逐渐升高，所以仅适用于同一房间工艺过程有不同洁净度要求的洁净室;送风墙局部布高效过滤器较满布水平可减少高效过滤器用量，节约初投资，但局部区域有涡流。

（3）乱流型气流：孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同:侧送的优点易于管道布置，  无需技术夹层，造价低，有利于旧厂房改造，缺点是工作区风速较大，下风侧比上风侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点，但洁净气流扩散缓慢，工作区气流较均匀;不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时，也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况 下，扩散板易积尘。

03/通风量或风速

足够的通风换气量是为了稀释和排除室内污染空气，根据不同的洁净度要求，当洁净室净高较高时，适当增加换气次数。其中100万级洁净室的通风量是按高中效净化系统考虑，其余均按净化系统考虑；当10万级洁净室过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚过滤器时，可适当提高换气次数10-20%。空气洁净技术措施时，调查测定了国内100多个洁净室，许多洁净室还是在动态下检测的。结果表明：10万级≥10次/h、1万≥20次/h、1000级≥50次/h通风量即可满足要求。美国联邦标准（FS2O9A~B）规定：非单向流洁净室(10万级、1万级)，室高8~l2ft(2.44~3.66m)，通常考虑全室至少每3分钟换气一次(即20次/h)。

04/静压差

洁净室维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、以维持设计洁净度等级必不可少的条件之一。即便是负压洁净室，它也必须有不低于它洁净度级别的相邻房间或套间维持一定的正压，负压洁净室的洁净度才能得以维持。

洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证洁净室正压值，送风、回风和排风机最好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止洁净室在系统开启和关闭时受到污染。

对于一个洁净室来说，以上四个必要条件必须同时得到满足，才能保证洁净度达到要求并具备应有的抗污染干扰能力。